二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #9314869 待售

KARL SUSS/MICROTEC Gamma是一种光阻设备，设计用于制造微电子和光电元件。该系统是用于光刻的自动化多功能工具，提供精确、可重复的结果。适用于最大尺寸150 mm、最小特征尺寸0.2 μ m的扁平基板加工。该单元集成了几种技术，如抗蚀剂涂层和显影剂、步进/扫描仪、激光干涉仪以及图像和图样发生器。机器的元件可以一起工作，用于多种应用，包括超薄膜技术。该工具还提供各种光刻功能,包括灰度、二进制、接触、接近和重复曝光方桉。步进/扫描仪能够处理从0.5到24毫米的镜头到光掩模的距离，对准精度只有几纳米。资产可以生成分辨率高达0.5000 μ m、精度为0.2 μ m的高分辨率图样。该模型提供了对抗蚀性涂层厚度、暴露强度和持续时间以及开发时间和条件的精确控制。综合MST计量设备使用激光干涉仪检查暴露在设计基板上的结构。这有助于以最短的停机时间确保可重复的结果,并有助于避免由于未对齐或意外的不规则性而造成的过度返工。该系统还具有用于作业管理、多用户控制、过程自动化和数据分析的集成软件包。此软件可帮助用户快速轻松地创建、管理和存储模式,并最大限度地缩短开发时间。此外,该单元还提供了一个增强的高精度图像发生器,用于各种模式的曝光,并提高了分辨率和准确性。总之，MICROTEC Gamma是一种自动化的模块化光刻机，为微电子和光电元件的制造提供精确、可重复的结果。它集成了一系列技术和功能,以最短的停机时间提供一致的结果。适用于高分辨率、高精度的应用，并提供用于作业管理、多用户控制和过程自动化的集成软件包。