二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #9384738 待售

KARL SUSS/MICROTEC Gamma光刻设备是一种在先进半导体基板上开发和蚀刻的高精度解决方桉。它是一种步进级光刻系统，能够可靠地、连贯地处理任何类型的光刻胶，包括最新的先进化学放大光刻胶（CAPR）。该单元采用具有高分辨率编码器的交叉6轴显微镜级，提供精确可靠的对准、舞台运动、多层对准和纳米处理能力。这台步进级机器具有1-500nm的成像功能,支持多种先进的图样和蚀刻技术。MICROTEC Gamma允许对包括易碎III-V材料在内的各种半导体基板进行高精度光刻。该工具配有4步"生产和释放"功能，可快速、方便地开发光刻胶图样。其先进的XY阶段和曝光资产能够编程高保真度的密集模式。该型号还配备了广泛的其他功能，包括能够在短时间内实现高分辨率扫描，控制沉降特征，以及用于精确热成像应用的随机图样。KARL SUSS Gamma还包括许多用于精确对准和过程控制的功能,包括实时连续对准和用于精细曝光控制的细孔。设备控制器可驱动多达16个多层堆栈,结果可靠。它还包括各种放大选项,从2倍到300倍,以及用于精确检查透明和不透明材料的强大的特殊光学系统。此外，通过自动关联技术和拼贴功能，实现了高精度晶圆对准。除了上述先进功能外,Gamma光刻装置还提供卓越的安全功能。它利用8通道模式验证系统，以防止短裤和划痕，以及全接口蚀刻机精确蚀刻控制。工具先进的空气过滤资产确保了清洁的工作环境，温度控制器重现了工艺条件和环境。总体而言，KARL SUSS/MICROTEC Gamma光刻胶模型是半导体加工的强大解决方桉。凭借其高精度的特点和先进的安全机制，能够可靠地、准确地开发出具有极好的重复性和重复性的光刻胶图桉。当然，这种设备是有成本的--但对于那些有严重光刻需求的人来说，可能值得投资。