二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #9412721 待售
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KARL SUSS/MICROTEC Gamma Photoresist Equipment是一个全面、全自动的光刻平台,非常适合需要精确放置和精确处理的应用。为满足微电子和半导体应用的高分辨率需求而开发的MICROTEC Gamma是MICROTEC精心制作的一系列机器中的第一台,提供最高精度、质量和可靠性。它是为晶圆、半导体材料以及微电子工业中使用的其他基板上的先进薄膜沉积和光刻而设计的。KARL SUSS Gamma配备了智能、用户友好的人机界面(HMI)。激光引导精密步进电机和机载位移测量系统提供快速、精确的曝光定位。它可以加工尺寸达6英寸的基板,可以精确放置最小曝光面积为0.75 x 0.75毫米的材料。伽玛提供的分辨率低至0.5§µm,其先进的对准装置提供高精度对准和曝光,均匀度高达0.05 µm。KARL SUSS/MICROTEC Gamma包含了多项功能,以确保优越的质量和可重复性。它具有微处理器控制的单步曝光模式,具有多种标识模式曝光功能,以及掩码居中。此外,它还具有实时聚焦和触摸对齐反馈机器,可提高准确性。MICROTEC Gamma是应用于高精度光刻工艺的理想选择。它具有很高的稳定性、可靠性和高效率,具有极好的可重复性、准确性和质量.它的高级功能确保了快速可靠的处理,而用户友好的设计则允许快速的设置和操作。KARL SUSS Gamma确保以最高的质量和精确度完成复杂而苛刻的工作。
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