二手 KARL SUSS / MICROTEC JWS LTC #9289946 待售

KARL SUSS/MICROTEC JWS LTC是用于制造半导体器件的先进光刻加工设备。该系统为光刻、蚀刻和清洁抗蚀层提供了一整套功能。该装置利用安装在夹具中的抗蚀剂涂层基板，该夹具暴露于紫外线下。这种光使抗性可溶性分子分解，使下面的表面暴露于蚀刻物中。在此过程中，暴露或"阴影"区域将接受蚀刻，而暴露或"明亮"区域将不受影响。该机器提供精确的曝光参数控制，并设计为工作范围最广的抗蚀剂。它对暴露剂量、斑点大小和暴露间距的精确控制确保无论处理哪种类型的抗蚀剂都能获得精确的结果。除了精确控制曝光参数外,该工具还包括高分辨率成像资产,可实现最佳聚焦,并在大表面积上保持精确的轮廓。这意味着更高的图像质量和对抗蚀剂表面的精确控制。该模型还设有一个专用蚀刻站，用于精确控制蚀刻参数。这样可确保每个应用程序的蚀刻时间和配置文件一致且可预测。该设备还设计用于集成用于后蚀刻的强大清洁协议。这样可以获得最佳工艺产量。最后，该系统包括一个监控单元，允许在曝光、曝光后烘烤、蚀刻和清洁过程中持续监测基板温度。这种实时监控确保了最佳的过程控制和性能。总体而言，MICROTEC JWS LTC是一种先进的光刻加工机器，设计用于在半导体器件的制造过程中提供精确的光刻和蚀刻结果。该工具可精确控制曝光参数、高分辨率成像、蚀刻站、可靠的清洁协议和实时监控。