二手 KARL SUSS / MICROTEC M 2000E #9316057 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 9316057
Developer system
Type: 3-Track positive developer
Electronic cabinet
Temperature control cabinet
Operation manual
Technical documentation
2001 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC M 2000E是一种光刻设备，用于创建亚微米结构。该系统由三个主要组成部分组成：一个散热器、一个旋流器和一个数字成像单元（单色、彩色、紫外线、荧光和红外）。用清水机将光刻胶分配到基材上并进行图样绘制。该spincoater用于均匀地将光刻胶分布在基板表面，并将光刻胶引导到适当的形状。数字成像机提供的分辨率远远优于非光刻系统，并允许广泛的分辨率和检查选项。MICROTEC M 2000E提供了生产小于0.2 µm的特征尺寸的能力,可以根据应用要求进一步调整。它提供各种照明选项，如单色光、彩色光、紫外线、荧光照明和红外成像。除了各种照明选项外,KARL SUSS M 2000E还提供多种光刻胶,如阳性光刻胶、负性光刻胶、去除剂型和多重曝光光刻胶。此外,该工具能够以高达每小时1,000晶圆的生产率生成高吞吐量批次。这有助于改善生产周期并降低制造过程的成本。此外,它与2到12英寸大小的晶圆兼容,并具有全自动晶圆处理资产,可实现无应力操作。M 2000E除了具有创建亚微米结构的能力外,还具有自动对焦和对焦偏移功能,提供无与伦比的精度和准确性。它还包括一个快速寻址的晶圆映射模型，帮助确保准确和可重复生产的小功能，你可以引以为傲。最后,KARL SUSS/MICROTEC M 2000E光刻设备提供了精确度、精确度、吞吐量和成本效益的强大组合。
还没有评论