二手 KARL SUSS / MICROTEC RC 16 (RC5) #9383649 待售

MICROTEC RC16（RC5）是一种光阻设备，用于将物理微观结构阵列化为薄膜。这种光致抗蚀剂系统具有一个原位模式对齐器，可以在从几微米到几十纳米的层上创建定义的微观结构模式。光致抗蚀剂装置的设计是为了提供高精度和重复性，允许可重现的结果。模式对准精度为跨75毫米芯片场0.3微米，成像分辨率为1微米。输出可重复性为0.3微米，机器能够测量尺寸在0.1到8微米之间的特征样品。刀具的光刻层厚度在20-180 nm之间，由内置在资产中的精密快门控制。KARL SUSS RC16（RC5）还包括批处理功能，以满足高吞吐量应用程序的需求。该设备包括一个自上而下的视觉模型，一次最多可获取25个微观结构图像，以及一个用于存储获取图像的内置数据库。此外,还包括自动点映射和全球曝光,以提高效率和精度。KARL SUSS/MICROTEC RC16（RC5）允许使用中性释放剂进行正负色调发展。设备提供四种开发方法；湿发育，溶剂发育，干发育，暴露后烘烤。光刻胶系统在4-40摄氏度的温度范围内是稳定的，其设计目的是尽量减少污染和最大限度地减少噪音，以确保一致的、可重复的结果。综上所述，MICROTEC RC16（RC5）是一种光致抗蚀剂单元，用于以精确和精确的方式绘制物理微结构图样。它的特点可以调节光刻胶层及其可重复性，机器为高通量的应用提供了批处理特性。此外，它还提供正负色调发展，提供四种发展方法，以及无污染的温度稳定性。