二手 KARL SUSS / MICROTEC RC 16 #293767597 待售

製造商
KARL SUSS / MICROTEC
模型
RC 16
ID: 293767597
Spin coater.
KARL SUSS/MICROTEC RC 16是为微光刻应用而设计的高放大数字光刻设备。该系统非常适合创建精确、精确的定制小规模组件。该单元由一台90纳米分辨率的铝制电子束掩模扫描仪组成,具有1000毫米深度扫描场和0.5微米分辨率。该机采用了一个集成的5轴显示舞台和一个精密的5轴运动工具,为用户提供了精确引导光束分辨率及其扫描深度的能力。扫描场也是可调的,可以容纳高达1mm的深度。MICROTEC RC 16提供掩模的快速批量扫描,并产生可直接用于广泛光刻应用的数据集,包括微流体、ITO沉积、硬盘驱动器、柔性电子和光电。该资产的用户友好界面提供了简单的校准、自动对齐和直观的用户界面。此外,该模型还提供实时监控、图像参数的软件调整以及对结果的实时分析和反馈。该设备还具有使用集成曝光控制系统精确调整每次拍摄的光斑大小和曝光剂量的能力。这有助于通过控制暴露剂量和增加场均匀性来防止非均匀模式的发展。最后,该装置先进的光刻胶配方在保持最佳光刻胶特性的同时,提供了优异的附着力和分辨率。这保证了KARL SUSS RC 16产生的模式将持续数年而不会降解。因此,这台机器可以成为各种商业和研究实验室的理想选择。
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