二手 KARL SUSS / MICROTEC RC 16 #9383648 待售

KARL SUSS/MICROTEC RC 16是一种先进的光阻设备，以其在各种半导体和MEMS制造工艺中的使用而闻名。该系统使用基于多晶硅的"抗蚀剂"，即暴露于光或等离子体中，这会导致在抗蚀剂内部发生化学反应，从而在抗蚀剂层中形成模式。MICROTEC RC 16单元的工作原理是通过专用投影机将抗蚀层暴露在光线或等离子体中。光打开抗蚀剂的分子结构，使化学反应在抗蚀剂层中发生。通过控制曝光的光强度或持续时间，用户可以确定在抗蚀剂中产生的模式。在制备阶段，将抗蚀剂冷却到较低的温度，然后施加到基材上。制备底物后，将抗蚀剂暴露在光或等离子体中，以启动化学聚合过程。聚合的速率和程度取决于暴露的类型，以及暴露的持续时间和强度。曝光过程导致在抗蚀剂材料中形成成像图样，这将成为任何进一步微加工的基础。在开发阶段，图像是通过清洗或蚀刻去除未曝光的材料而形成的。一旦这个过程完成，基板就准备好进行进一步的微加工。KARL SUSS RC 16能够产生具有光学质量和高分辨率图像的微米和亚微米线和空间。该工具还能够实现高基板通量和高暴露精度。该资产用途广泛，可用于亚微米光刻和深蚀刻工艺。由于其最先进的特点，RC 16是先进半导体器件制造的理想光刻模型。