二手 KARL SUSS / MICROTEC RC 8 MS3 #26117 待售
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ID: 26117
晶圆大小: 8"
优质的: 1999
Spin coater, 8"
With GYRSET system
Max substrate size: 6"x6" or 200mm diagonal
Multiple dispense capability: Up to 2 photoresist, nitrogen, solvent line
Maximum RPM: 3,000
Acceleration: 10 to 5,000 RPM/sec
Motorized dispense arm
(2) CYBOR 5026 pump (05026-60-57-52C6-OP-C6-OK)
CYBOR 512 Power supply with 505 controller (will control 1-2 pumps)
CYBOR 5126C Pump
GYRSET system for better uniformity, lower resin consumption
Stainless base cabinet
Resist nozzle autoclean
Cartridge dispense
Bake (hot plate) unit: No
1999 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC RC 8 MS3是一种具有模块化设计的光刻设备,具有最高的精度和可重复性。该系统采用闭环级运动，可精确定位和处理200毫米以下的各种基板。其电动致动装置可实现长期稳定。此外，它的可调Z轴允许在基板高度的变化颠簸和光刻工艺。该机采用高性能、风冷的Xe弧灯，预热时间短，振动低。其特别设计的冷凝器透镜具有宽的FWHM角，导致基板的照明均匀。该工具的高分辨率显微镜的放大范围为7倍至100倍和远心光学器件，提供了面罩的精确对准。先进的过程控制，具有晶片到数量的屏幕，是可用的和用户控制的，提供实时监控的光掩模和晶片对齐。先进的计量学部分及其高度灵敏的光学统一头提供了先进的过程监控，而软件可编程扫描速度补偿了UV灯输出和光刻胶曝光之间的串扰。该资产的集成抗搅拌站和电子设备具有全自动抗搅拌、分配和旋转涂层性能控制功能。MICROTEC RC 8 MS3还具有自动放电装置，可自动安全地从轨道上去除光刻胶，并具有自动对准功能，便于处理不同的基板。此外，该型号还具有激光安全特性和温度监测能力，以确保安全可靠的操作条件。KARL SUSS RC8 MS 3也符合国际标准和环境要求，使其非常适合大多数光敏应用。
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