二手 KARL SUSS / MICROTEC RC 8 #293627105 待售

製造商
KARL SUSS / MICROTEC
模型
RC 8
ID: 293627105
Spin coater.
KARL SUSS/MICROTEC RC8是由MICROTEC和KARL SUSS开发的先进光阻装置。该装置与多种工艺材料兼容,包括干性和液性光致抗蚀剂溶液。MICROTEC RC 8允许用户处理任何形状和大小的基板,这些基板用真空固定在设备的工作台上。工艺参数根据基板方向自动调整,真空力由基板上检测到的传感器控制。KARL SUSS RC8的工作室采用钛氮化物涂层构成,提供了异常干净、清晰的线型。RC8允许操纵将光刻胶施加到基板上的物理条件。用户可以调节光源的强度、暴露时间和抗蚀剂溶液的温度,以及浸泡溶液的温度。KARL SUSS/MICROTEC RC 8使用了广泛的精密技术来处理工作台上的材料,从简单的喷涂涂层到更复杂的过程,如软烘烤或视频成像。这使得MICROTEC RC8成为一个完整的光刻系统。此外,KARL SUSS RC8还具有控制过程参数的高级自动化功能。用户可以定义用于控制基板温度和抗蚀剂暴露时间的程序。RC8软件能够通过编程控制过程的参数,让操作员简单地监控设备。操作员还可以调整曝光时间,以补偿材料或基板表面的任何变化,或产生所需的成品特性。得到的光致抗蚀剂层是超薄的,具有极好的分辨率,以及卓越的寿命和均匀性。KARL SUSS/MICROTEC RC8机器能够产生高质量的图像,减少了对产品参数的手动操作需求,降低了缺陷风险。MICROTEC RC 8的自动化、技术精密和参数控制相结合,为用户提供了更高水平的控制、质量和可重复性,同时减少了周期时间和成本。
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