二手 KARL SUSS / MICROTEC RC 8 #9015890 待售

KARL SUSS/MICROTEC RC8是一种光阻设备，能够制造高度复杂的微电子零件和结构。该系统基于阶梯式灰度（SGS）成像技术，利用光干涉将树脂暴露或抵抗材料与一组复杂的灰色调形成精确的图桉。MICROTEC RC 8旨在与各种光刻胶配合使用。它可以与标准的负极或正极极化膜一起使用，以及液体喷射和分配的抗蚀剂。此外，该装置使用低温工艺将抗蚀剂涂在基板上，确保抗蚀剂的聚合物和粘附性能完好无损。该机采用直接写入光刻头，可提供300 W/cm2的伽马辐照度，空间分辨率低至5 µm。KARL SUSS RC 8支持最大400 x 400 mm的基板尺寸,Z轴分辨率可提供-3至+25 mm的工作范围。成像过程包括四个阶段：预曝光、后曝光、蚀刻和烘烤。这些阶段由用户友好的图形界面管理。RC8在操作上既能达到高精度又能达到速度。它能够处理多达3000个晶片/小时,并自动调整辐照度和曝光时间以获得最佳结果。该工具还将识别和消除缺陷，以确保从光掩模过程中获得高收率。此外，KARL SUSS/MICROTEC RC8具有多种先进的特性，如温度补偿和光束整形，以实现高度精确的曝光控制。该资产还支持高级非接触电阻，用于极薄层电阻应用。MICROTEC RC8是一种综合光阻模型，为复杂的微电子制造提供了显着的效果。它是高端微电子生产的理想解决方桉，其创新的设计和特点确保了可靠的产量。