二手 KARL SUSS / MICROTEC RC 8 #9223422 待售

KARL SUSS/MICROTEC RC8是一种用于半导体制造工艺的精密光刻设备。该系统在洁净室环境下工作,提供集成电路（IC）和电子设备中使用的组件和材料。由德国制造商MICROTEC GmbH生产，MICROTEC RC8为工业规模生产带来先进的光刻技术。该单元由一个真空密封的工艺板（Wafer Chuck）和一个标线表组成，然后用该工艺板装载尺寸从4英寸到8英寸不等的晶片。这样可以确保晶片在模式传输过程中是安全的。使用一系列透镜，然后透镜朝向晶圆收集来自标线图样的反射光，用光敏材料覆盖表面。该机制通过从标线表中连续曝光光和镜像复制来高效地在每个晶片上创建组件。此外，机器允许可变步进字段，在设置掩码对齐时提供更大的灵活性。高精度对准能力的唯一集成及其通过衍射和吸收抑制透射光，为IC制造工艺提供了进一步的优势。与其他系统相比，KARL SUSS RC8还通过其卓越的覆盖精度来确保成功的模式传输过程。它采用独立的扫描和聚焦字段，以确保在掩模模式对齐中的极致精度。通过将框架缓冲器与激光束测量相结合，该工具通过对照明激光束的测量进一步提高了精度。资产配备了自动晶片跟踪模型，用于监测过程中所有晶片的最佳位置。通过内置气体分配系统和机器人晶圆处理程序确保清洁室的连接。这些先进的技术规格保证了用户在几乎每一个场合都具有卓越的光刻性能。总体而言，RC 8是一种高度可靠的制造设备，为集成电路（IC）的生产带来低成本、高性能的光刻能力。该设备采用自动晶片跟踪和独立扫描和聚焦领域，能够生产出质量和寿命都优越的IC芯片，这在目前许多电子制造工艺中被证明是一个极大的优势。