二手 KARL SUSS / MICROTEC RC 8 #9394308 待售

KARL SUSS/MICROTEC RC8是一种为先进的微结构和微光刻而设计的自动光刻设备。它利用一个对齐器和一个曝光头来在微观结构的模式上取得非常精确的结果。MICROTEC RC 8有两步的抗蚀剂纺丝和软曝光过程。抗蚀剂的旋转确保了均匀的厚度，之后是软曝光，控制曝光头的强度和曝光时间。KARL SUSS RC 8对准器具有高度可调级，旋转速度高达3000 rpm，用于旋转光刻胶膜。它还具有激光二极管对准、光电池自动对准、抗蚀剂/烘烤/带状控制器和视觉引导系统，以确保图样精确对准和转移到基板上。曝光单元包含曝光时间范围为0.03至2.75秒、照明功率为10 W/cm2的曝光头。它还有一个准直镜，以确保光敏胶片的均匀曝光。该机还具有硬质合金棒，用于精确和可重复的线性运动，以及真空卡盘，在曝光时固定光刻胶薄膜。该工具还具有抵抗预烘烤功能，以准备曝光的薄膜。烘烤室可容纳三个样品支架,预烤温度可高达175 °C。带状/剥离室装有六个晶片托架，用于从样品表面剥离和清洁抗蚀剂。这项资产还能够自动装卸晶片，并管理高达6英寸的抗弹射击。RC 8可以加工硅、玻璃、金属、塑料等多种基材。也可用于制造金、铜、铝、钛、铬等材料的超薄层。该模型广泛用于制造优质电子器件、光学薄膜和生物医学应用。这是为高性能和先进的微结构应用而设计的自动设备。