二手 LAURELL WS-400A-6NPP/LITE #9373271 待售
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LAURELL WS-400A-6NPP/LITE是一种全自动光敏处理设备,设计用于处理任何负型或正型光敏。它为光刻胶的处理提供了一个高效可靠的系统,对所有的处理参数都有精确的控制。该单元由一个顶部装载室、一个多室台式处理器和一个真空泵组成,上面装有裸露的基板。顶装室完全密封,配有压力监测机和温度控制工具。腔室具有较大的内部间隙,便于装载和去除基板,并提供适合整个光刻过程的环境。多室处理器提供了一系列6+抗性溶液,在一系列基板上工作,包括裸硅、熔融二氧化硅、石英、蓝宝石等。根据应用程序的不同,还可以选择单室设计。处理器允许分辨率为亚微米的特性,提供卓越的抵抗分辨率而不会失真.AQUA MULTI-PROCESSING、TEMPERATION CONTROL、PRECISION PROFILING和ANALYSIS等功能为用户提供了一个高效的精密工作平台,非常适合对重复性和组件质量有很高要求的生产过程。该机还专为高效的工作流程而设计,允许用户在顶层加载室中加载多达10个基板,并利用单层或多层处理的优势。该处理器配有冲洗、溶剂和洗涤罐,用于经济高效地清洁基板,以及排水资产,以确保安全和迅速地清除溶液残留物。板载可编程控制器具有易于使用的触摸屏用户界面,可以从中设置所有必要的进程设置。用户可以实时配置模型并监控流程参数,D-TEC软件提供额外的控制、数据收集和数据分析。LAURELL WS 400A-6NPP/LITE提供了一种工业级光刻胶处理解决方桉,专为高要求的生产环境而设计。其先进的设计、坚固的结构和卓越的控制功能可实现准确和一致的可重复结果,确保可靠和高效的性能以及最低限度的维护要求。
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