二手 LAURELL WS-400B-6NPP/LITE #293629512 待售
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LAURELL WS-400B-6NPP/LITE是一种全自动光刻设备,非常适合用于半导体、MEMS/NEMS、电子和医疗仪器行业的湿处理应用。LAURELL WS-400B-6NPP-LITE具有独特的储罐设计,使其非常适合小批量零件的高产和高通量生产,如微芯片和MEMS设备。该系统采用600mm x 400mm可变深度真倾斜平台和可变深度可调溶液罐,温度范围在20至70摄氏度之间。该单元还有一个集成的盖子,保持处理浴液封闭,并有一个可锁定的门,确保处理浴池的安全。WS-400B-6NPP/LITE光刻机具有多种特性,在过程控制方面具有灵活性。该工具既有预先编程的也有可编辑的自动化配方,它可以配置有几个周期定时、可变和逐步流程选项,以优化流程结果的准确性和可重复性。按人体工程学设计的控制资产简化了访问和操作,使用户能够快速、轻松地访问自动化配方,并管理光刻胶模型的各个方面,包括温度、压力、气流和工艺时间。先进的控制措施,例如多流洗涤歧管,监测化学浓度,以确保涂料的精确度和可重复性。此外,还包括洗手器和自动循环快门,以便对零件进行彻底清洁和干燥。触摸屏监视器允许方便地监视所有过程参数,包括温度、压力和时间。WS-400B-6NPP/LITE光敏设备为很小零件的高产、高通量加工提供了可靠、经济高效的方法。它非常准确、高效,可提供可重复的结果,但维护要求较低。通用的控制系统允许广泛的工艺步骤和条件,以适应几乎任何生产要求。该装置非常适合生产微电子和精密的微电子系统组件。
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