二手 LEYBOLD A 1504 #293621527 待售
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ID: 293621527
优质的: 2008
Evaporator
Workstation
Gun
POLYCOLD System
(2) Pumps
E-Beam gun power supply
No plasma source
Power supply
2008 vintage.
LEYBOLD A 1504是一款由LEYBOLD Optics制造的光阻设备，能够在塑料、金属、陶瓷等基板上产生高精度图桉。适用于需要特殊加工的细腻基材，如薄或易碎材料。A 1504在正负两种模式下运行，允许用户在各种厚度的光刻胶膜中创建错综复杂的图桉。光致抗蚀剂是通过使基板暴露于紫外线辐射而在基板表面上形成的。辐射的强度决定了要施加在基板上的光致抗蚀剂的量。LEYBOLD A 1504提供了标准、高分辨率和超分辨率三个级别的模式精度。Standard level提供的图桉尺寸精度为20µm；10µm精度的High Resolution level；以及具有5 µm精度的Ultra Resolution级别。此外，光刻胶系统可用于微米精度高达20 µm的低水平图样。1504具有真空装置和计算机调节的温度控制功能，可以将光刻胶平滑均匀地涂在基板上。加热的基板有助于帮助光致抗蚀剂形成均匀的薄膜，而薄膜传送带则将基板转移到曝光单元。在曝光过程中，先进的光学投影系统，连同计算机控制的紫外线灯和个别曝光区域，被用来生成图样。该机器具有远程控制功能,允许用户配置、控制和监视刀具的操作。该控件还提供了有关每盏紫外线灯的曝光次数、曝光时间和能量输出的信息。此外，用户可以监测基板的温度和均匀性以及暴露图样的质量。LEYBOLD A 1504除了具有高精度的能力外，还可以方便地装载和卸载基板。此资产还可满足较低的维护要求,并提供较长的使用寿命。因此,用户可以期望从这种高度先进的光刻胶模型中获得更少的停机时间和更高的质量结果。
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