二手 LEYBOLD APS 1104 #293618526 待售

LEYBOLD APS 1104是一种光刻设备，设计用于高精度的面罩制作、检查和计量。它是一个自动化的过程系统，包含一个先进的生产控制单元（APS）和一个领先的光刻平台。APS 1104使客户能够使用先进的精密光刻技术执行标线和掩模的生产和计量过程。这一过程包括旋转、曝光后烘烤、冷却和开发光刻胶，以便为随后的光刻创造一种有图桉的抗蚀剂。整个光刻胶工艺的设计和控制可以在同一个APS平台上的单个工作流程中完成。该机器采用了最新的光刻技术，如两步标线拼贴、非接触/接触控制、多波长计量和成像以及条形码跟踪。它采用直观的用户界面设计，使客户能够轻松地控制和优化光刻胶的生产和计量。LEYBOLD APS 1104具有可定制的控制工具,可自动优化掩模制作过程,以最大限度地提高生产吞吐量并缩短周期时间。APS 1104还提供了广泛的标准和定制映像解决方桉,包括全套质量控制功能。凭借其高分辨率的蔡司显微镜和精确图像夹层（AIITM）资产，它甚至可以检测到各类光刻胶中最小的缺陷。此外，该模型还包括扫描电子显微镜（SEM），用于原位分析光致抗蚀剂图样。再者，作为LEYBOLD组合的一部分，LEYBOLD APS 1104具有RTP、充电、粘结和转移等优秀的下游能力。这使客户能够快速准确地将其光刻胶图样移动到其首选的基材中。综上所述，APS 1104是为高精度面膜制作、检验和计量设计的先进光刻设备。它为客户提供了对整个光刻过程的直观控制,包括生产控制系统、可定制的成像解决方桉和出色的下游功能,使其成为高精度蒙版制作的理想解决方桉。