二手 LEYBOLD APS 1104 #293794881 待售
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LEYBOLD APS 1104是为在生产环境中控制和自动湿法处理半导体晶片而设计的光阻设备。APS 1104系统是一个采用两级设计的开放式框架平台，允许在生产环境中实现最大效率和安全性。它有四个单独的处理模块，每个模块独立运行，每个模块都有专用的控件，允许理想的过程控制。该单元的上层由一个输送机组成，该输送机将晶片从装载站输送到四个处理模块。传送带可以预设，以预定的速度和间隔移动晶片，允许重复和准确的过程时间。机器的下层包含处理溶液罐，每个模块的工艺室从中抽取溶液。机器的四个加工模块用于半导体晶片的湿法加工。第一个模块执行抗蚀剂纺丝过程，将光致抗蚀剂材料施加到晶片表面。第二个和第三个模块分别进行显影和植入，而最后一个模块执行剥离过程以去除光刻胶材料。这四个模块中的每一个都使用一个由桨叶组成的旋转滚筒，在一个加工室内运输晶片，适合同时处理晶片的两侧。工艺桶包含加热元件和控件，允许精确的温度设置和工艺控制。LEYBOLD APS 1104还提供了多项内置安全功能。该工具的设计允许从操作员位置进行最大程度的访问和控制,从而可以从前面板监控整个资产。警报系统和警告灯可以提醒操作员注意油箱溢出的潜在危险或达到操作温度极限的机器。APS 1104是一款用于自动化半导体湿处理的优秀光刻胶型号，为生产环境提供最大的安全性、准确性和效率。
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