二手 LEYBOLD APS 1104 #9054495 待售
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ID: 9054495
Evaporator
Ceramic heaters
Planetary tooling, (6) planets
APS plasma source
2 EVS14 e-guns
Quartz crystal monitoring
Diffusion pump
Rotary and Roots
Polycold and Meissner.
LEYBOLD APS 1104光刻设备是开发光刻应用的多功能强大工具。该系统具有多种功能,非常适合用于从高速到超高分辨率设备的各种光刻应用。LEYBOLD单元的核心是它的光刻胶分发器,设计用来分配具有多种参数的光刻胶。分发器有两个不同的泵,每个泵提供16个预置调度和刮擦配置文件。这使得用户可以在没有额外编程的情况下快速、轻松地生成光刻胶图样。分发器还配备了一个剂量控制机器,允许用户根据其确切规格优化光刻胶的沉积和图桉。光阻频闪工具专为高速和超高分辨率的应用而设计。借助一个封闭的闪光灯和一个精确的镜面资产,它可以将光刻胶层精确、快速地暴露在紫外线下。这样就可以在基板上形成均匀一致的光致抗蚀剂层,然后根据用户规格对其进行图样化。APS 1104型号还可以处理多种不同的蚀刻工艺,以及湿洗和干洗工艺。有了这些选项,用户可以轻松地为各种微结构应用创建高度错综复杂的光刻胶层。LEYBOLD APS 1104设备设计得非常可靠和高效。它提供了直观的控制,使其易于使用和调整光刻胶参数。该系统还具有自动减少引物的功能,有助于减少引物的数量,防止不必要的浪费,并确保最高产量。它还有一个自动缺陷检测单元,帮助最大限度地减少有缺陷的光刻胶图样的风险。这有助于提供一致、高质量的结果并降低成本。综上所述,APS 1104光刻机是一种用途广泛、功能强大的光刻应用工具。它提供了广泛的功能和选项,允许用户优化光刻过程以提高效果。该工具还提供了较高的可靠性和成本节约,使其成为实验室和光刻胶制造商的理想选择。
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