二手 LEYBOLD APS 1104 #9192878 待售

LEYBOLD APS 1104光刻加工设备是一种多功能、全自动的系统，用于光刻工艺。它专为处理和开发各种类型的光刻胶而设计，效果最佳。APS 1104单元提供了对所有影响最终产物的参数的完全控制，如温度、湿度、露点、表面活性剂浓度和曝光时间。LEYBOLD APS 1104由一个工艺室、一个用于设置和控制工艺参数的控制单元以及一个开发坦克组成。该机器配有两个独立的电磁阀，一个用于溶剂，一个用于表面活性剂，使两种液体在任何给定时间都能使用不同的比例和浓度。载荷端口包含一个高度精确的腔室温度传感器，能够精确控制加工腔室内部的温度。这一点很重要，因为光刻胶的性质会因温度变化而发生显着变化，因此，控制温度对于取得一致和可重现的结果至关重要。该腔室还包含溶剂和表面活性剂输送工具。该资产旨在提供可变的、准确的溶剂和表面活性剂分配，使用户能够根据其具体需求控制溷合物。加载后，腔室被抽空，由可调节、压力控制的泵产生真空。通过控制室内真空，可以将溷合溶剂和表面活性剂均匀地分布在整个室内。用户可以配置曝光时间，最多99.99秒，曝光波长。曝光波长可以根据所使用的特定光刻胶和所需的结果来选择。该型号还包括温度可调的热板。这可以用来产生热量，这有助于加速光刻胶的固化过程。该热板还具有强制空气冷却设备，可防止在开发过程中出现热点。最后，APS 1104包括了一个开发坦克，配备了磁耦合搅拌器。这保证了光刻胶的均匀和一致的发展。显影后，用可编程、可调介质喷嘴冲洗干燥。这有助于确保光刻胶干燥而不会过热或过度干燥。LEYBOLD APS 1104因此是大规模生产光刻产品的理想选择。