二手 LEYBOLD APS 1104 #9203831 待售
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ID: 9203831
优质的: 2000
Evaporator
OMS 3000
(2) E-guns
Materials deposited: TiO, NbO, SiO2
Head quartz: 2 x 6
2000 vintage.
LEYBOLD APS 1104光刻设备是由德国工业设备制造商LEYBOLD Optics GmbH开发的现代、计算机控制的湿蚀刻系统。该单元利用强大的光学器件来照亮光抗蚀剂层,并实现多种处理模式,包括旋转涂层、喷涂涂层、曝光和显影。该机支持多种光刻材料,包括低粘度和硬质光刻胶,使其既可用于小规模加工,也可用于多层图桉。APS 1104使用户能够轻松快速地为各种应用程序编程该工具。采用高性能步进电机,快速、准确地精确定位和加工光刻胶。该资产还具有嵌入式微处理器,可减少设置时间并简化参数管理。该模型还支持广泛的基材材料。它的设计使它能够处理标准和高级基板,如激光和光纤,使其适合各种苛刻的应用。可供设备使用的光阻材料非常耐用,对基板具有良好的附着力。为确保精度,LEYBOLD APS 1104配备了先进的光学系统。这样可以确保高质量和可重复的曝光,并具有一致的阵列处理结果。该单元还支持一系列可编程的曝光参数,使用户能够根据基板的确切要求调整曝光时间和强度。该机与使用最广泛的实验室工艺兼容,如自旋涂层和喷涂涂层。该工具可以快速轻松地设置和调整用于各种应用的速度、时间和涂层。此资产还配备了高级安全功能,可安全用于实验室环境。最后,嵌入微处理器可以方便的操作和无故障的维护。可为各种不同的应用程序和过程快速、安全地重新配置模型。APS 1104是一种可靠、高效的光刻设备,可为用户提供快速、精确且易于编程的结果。
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