二手 LEYBOLD APS 1104 #9287235 待售

LEYBOLD APS 1104是一种高精度光刻设备,旨在为生产先进电路板和微系统提供可靠且经济高效的结果。它配备了先进的系统架构，包括高效的光刻涂层工艺、精确的曝光以及高效的烘烤和开发。APS 1104采用4轴机器人和微分配泵的组合，在基板上应用光刻胶和自旋涂层。该精密单元有助于保持精确且可重复的薄膜均匀性和厚度,公差仅为+/-5%。机器的自动化和手动操作都是可能的。通过微微剥离、水剥离和等离子体蚀刻技术的组合，可以精确去除暴露和显影的光致抗蚀剂。该工具还具有真空卡盘沉积工具，能够进行后处理、基板成形、薄膜分离和缺口蚀刻，从而形成复杂的亚微米结构。LEYBOLD APS 1104可用于对由多种材料组成的刚性和柔性基板进行图样化，如玻璃、塑料和各种合金。此外,它还能够对最小线宽仅为0.7um的精细结构进行阵列化。为了将维护成本降至最低,APS 1104采用了用户友好和直观的软件。高端多通道脉冲源和传感器保证了最高质量的结果和低暴露剂量。它的模块化设计允许定制配置以满足特定的用户要求,其透明室设计确保了一致和可靠的结果。总体而言,LEYBOLD APS 1104为高级电路板和微系统提供了可靠且经济高效的开发和原型设计解决方桉。