二手 LEYBOLD APS 1104 #9394890 待售
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LEYBOLD APS 1104是一种用于生产先进技术装置的高性能光刻设备。设计具有优异的光刻性能和加工精度.APS 1104具有改进的亚微米分辨率、扩展的操作范围和减少的污染。系统使用精确的光束在基板上施加预定义的图桉。无图案光束由激光源产生，并投射到包含光敏抗蚀剂材料的电池上。暴露在光线下，发生化学反应，改变抗蚀剂材料的性质。属性的这种变化使得所需的图样可以转移到基板上。LEYBOLD APS 1104配备了一个多功能控制器，可以方便的模式掩码设置，自动化的模式，精确的图像控制。控制器还具有可调节的激光功率控制,在每个作业期间都能达到最佳操作.此外，该装置的设计目的是通过提供紧密的快门密封，减少面膜和基板界面上的颗粒来最大程度地减少污染。此外,机器的动态扩展操作范围允许处理各种样式大小和形状。它还提供了极其统一的分辨率，导致更精确的处理。这种改进的性能是由于先进的光束光学器件结合了控制器的自动模式控制。总体而言,APS 1104是一种先进的光刻工具,具有卓越的性能和精度.其集成的激光光学、自动图样控制和紧密的快门密封确保了可靠和可重复的结果。其扩展的动态操作范围允许以更高的精度产生各种各样的图桉和形状。因此，它非常适合快速可靠地生产细音调器件和下一代技术产品。
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