二手 LEYBOLD APS 904 #9240499 待售

LEYBOLD APS 904是一种光刻设备，设计用于将感光材料暴露在基板上，用于光刻和装置制造。它提供亚微米分辨率特性、高精度、以及使用铬、氙或镍基抗蚀剂工艺的干净边缘轮廓。APS 904是利用数字成像技术进行光刻应用的最先进的系统。这个单元可以将影像印在小至0.3µm的基板上。为了达到这种分辨率，机器利用光源通过分束器，进入多级光学投影工具来维持垂直的输出光束。成像是通过对光束进行数字聚焦，然后通过计算机控制的镜片和镜片来完成的。这些被排列成基板上投影物体的虚拟图像。LEYBOLD APS 904具有双直列光刻资产。该型号利用特殊的超低吸收性玻璃，光学密度大于1.45，有效降低"背景"曝光水平。设备具有可变的重复率，可从0.5秒以0.1秒为增量调整为1秒。这样可实现精确的平版印刷并提高吞吐量。此外，APS 904还有半自动化的机载粒子检测系统。这个单元的特点是使用人工光，允许悬浮在空气中的粒子被诊断出它们的大小和位置。如果检测到过多的空气传播粒子，机器可以被编程为停止光刻工具，从而提高光刻过程的安全性。LEYBOLD APS 904还配备了双级、低真空资产来控制涂层和附着力。双级真空模型由一个粗加工泵和一个按顺序工作的分子泵组成。这样可以确保有效地清除滞留气体,从而创造一个非常干净的真空环境。总体而言，APS 904是一种可靠和精确的光刻设备，能够以安全和高效的方式产生高分辨率图像。它对技术的创新利用和独特的特性使系统能够很容易地适应不同的光刻应用。