二手 LEYBOLD CCS 250 #293829329 待售

LEYBOLD CCS 250是一种预曝光光抗蚀剂设备，设计用于生产微电路或电子器件元件的精确可靠的仪表阻挡口罩。该系统非常精确，在生产前利用几个光学和电气传感器检查光敏面罩的质量。CCS 250的开发是为了简化和简化光刻胶口罩的掌握。蒙版可以使用CAD单元生成,也可以手动使用细笔尖笔生成。然后使用光学和电气传感器的组合检查掩模。光学传感器检测整个掩模表面是否存在光阻，而电气传感器检测掩模某些区域的电导率。如果光学或电气传感器读数有任何异常,LEYBOLD CCS 250将提醒用户并提供详细的错误信息,以便纠正问题。一旦掩模通过初始检查，就被放置在光刻机的XY级。CCS 250的XY阶段是该工具的焦点。它允许对掩模尺寸和其他光学特性进行自动、精确的测量。舞台由一系列四台直流电动机提供动力，舞台的运动由控制器卡精确控制，控制器卡也作为所有位置和错误数据的数据记录器。LEYBOLD CCS 250能够精确测量蒙版材料的电阻率，自动调整曝光过程，使最终的蒙版质量优良。模型中包含自动对焦资产,可确保掩码精确聚焦。该设备还包括一个装有口罩的数据库，以确保类似的光刻口罩产生可重复的结果。总体而言，CCS 250是一种预曝光光刻胶系统，设计用于生产微电路或电子器件元件的光刻胶掩模的精确可靠的计量。在使用自动对焦机精炼电阻率之前，该装置利用几个光学和电气传感器检查光敏屏蔽的质量。它还包括一个加载的掩码数据库，这样可以实现可重复的结果。