二手 LEYBOLD CCS 250 #9236185 待售

LEYBOLD CCS 250是一种最先进的光刻设备，用于在硅片表面创建受保护的编码图像和图样。CCS 250提供了最大250毫米基材尺寸的全覆盖,允许在多个晶片上产生大的、均匀的图样。系统配备了开发者、预烤、后烤三个工艺模块。显影剂模组是一个湿处理显影剂，不间断地洗去基板上的光致抗蚀剂残留物，留下一个干净、精确的图桉化表面。预烤模组利用热处理来增加光敏胶膜对基板的附着力。最后，后烘烤模组利用短的紫外线活化步骤来固化晶片上的光敏涂层。LEYBOLD CCS 250的编程接口允许用户轻松准确地编程操作设置和操作模式，包括模式宽度、分辨率、曝光时间和后处理。CCS 250的先进设计以具有独立高性能Lambertian发射器的四结光室为特色。这允许精确选择和控制光刻胶处理所需的光，范围从通信到医疗、光学、显示、微型装配、精密零件和平板显示元件。LEYBOLD CCS 250具有先进的过程控制功能,如自动自我诊断、测量整个光刻胶处理过程中残留物的积累以及在线监控过程参数。这样可以确保在每次运行中都提供最佳性能。CCS 250还提供了卓越的基板保护，包括液体光敏温度控制单元和氮等离子体覆盖机，以实现完整的基板保护。这样可以确保基板表面在处理过程中不会损坏。最后,LEYBOLD CCS 250可提供无与伦比的过程稳定性、生产率和灵活性,以满足客户的需求。该机器具有可扩展的设计,允许添加许多可选组件,例如颜色模式识别、内存扫描等。综上所述，CCS 250光刻工具是一个先进的、最先进的平台，用于在硅片表面创建受保护的编码图像和图桉。它提供卓越的基板保护、更高的工艺稳定性以及前所未有的灵活性,以满足客户的要求和应用。