二手 LEYBOLD HERAEUS 1100 #293666815 待售

LEYBOLD HERAEUS 1100光抗蚀剂设备是一种用途广泛、可靠的工具，用于精密制图和干燥膜层压在生产微型设备。光致抗蚀剂是一种光敏材料，可以暴露在图样化的光束下，然后转移到基板上。这一过程对于生产各种集成电路和微电子器件是必不可少的。1100系统使用两种主要的光刻成份：先进的电子束光刻工具和干膜层压站。电子束光刻工具用于绘制图样，直接在基板上曝光光刻胶。它提供了高精度和分辨率的功能,以及高吞吐量和可重复性,从而实现了高效和一致的设备阵列设计。干膜层压站用于将图样化的图像传递到基板上。利用层压站上的光刻面膜，通过两步真空和热过程将图像传输到基板上。可调整干燥膜的光照图样，并便于验证。LEYBOLD HERAEUS 1100紧凑高效，允许在单个基板图样上进行微观和纳米级图样化。该装置快速可靠，可产生高分辨率的图样，具有极好的可重复性。高度自动化的机器还具有在单一生产线中与其他工具连接的能力，从而减少人力和提高效率。1100是半导体和微电子生产的理想选择,它以最小的人工干预提供了可靠和可重复的高速和高精度模式。这种灵活、可靠、用户友好的工具非常适合各种类型的微电路和微型设备。