二手 LEYBOLD HERAEUS 2450C #9152147 待售

LEYBOLD HERAEUS 2450C光刻设备是一种先进的蚀刻和处理系统，提供先进半导体器件的光刻图样。它是一个紧凑的自动化单元,利用两级群集配置,在4英寸晶片上实现双面掩码阵列,并可以通过接触和接近对齐方式进行曝光。2450C利用行业标准的PCS和CMPprocessing工具来提高流程的准确性和可靠性。一种业界领先的、精确剂量的机械晶片对齐机，确保了上下晶片两侧暗场迭加的准确配准。具有6轴光束控制功能的液晶成像监视器可提供最高的分辨率和增强的对比度,以满足要求苛刻的光刻作业。LEYBOLD HERAEUS 2450C在光敏处理的许多关键领域提供卓越的性能。它具有一个温度控制的真空板，保持恒定的温度和附着在基板上。该工具还配备了自动曝光和开发使用高级算法提高产量的流程。它的大型自动分配头将光刻胶精确分配到晶片上，以实现统一的开发和优化的工艺结果。2450C还具有一个集成的旋转涂层，它能够精确地控制光敏涂层并去除后涂层上的抗蚀性碎片。它的综合软件包是为了可编程性而设计的，可以用来储存配方和过程参数，以更有效的处理。而且，LEYBOLD HERAEUS 2450C支持双层图样、多层图样、顶层和底层图样、抗条、反应性离子束蚀刻等先进光刻工艺。它还支持电气超压预防和O2等离子体蚀刻等先进功能。该资产的设计具有极大的灵活性，可以升级以满足最苛刻的光刻胶处理应用的需求。利用其最先进的功能集和性能,2450C是一种可靠而强大的光刻胶模型,即使是最复杂的制造过程也能得到有效支持。LEYBOLD HERAEUS 2450C是任何需要精密光刻设备制造的电子实验室的重要资产。