二手 LEYBOLD HERAEUS A 1100 #9109459 待售

LEYBOLD HERAEUS A 1100是用于精细光刻加工的先进光刻开发设备。该系统旨在产生具有极高重复性的高精度特性。LEYBOLD HERAEUS A1100单元的特点是具有光学元件的扫描仪，称为可曝光波长范围（ER），以高达每秒三千微米的可调速度运行。它能够控制和调整照明角度、焦点、曝光持续时间和快门速度。它具有精确对准梁重迭的特点，使机器能够产生高精度、窄线宽的高级图桉。该工具能够在不同尺寸和形状的不同基板上工作。该资产还采用安全准确的激光对准模型进行计算机控制的对准。设备可以配置为手动或计算机控制的对齐方式,从而实现更高的自动化水平。该系统是晶圆光刻的理想选择，因为它在大面积的精确光束重迭。1100单元对光刻胶使用两步开发过程。第一步是根据给定的要求，光致抗蚀剂暴露于紫外线或X射线辐射源。通过这种方式，使光刻胶材料的裸露部分硬化。开发过程的第二步涉及使用显影液。这种显影液溶解了光致抗蚀剂的非硬化部分，但使硬化部分保持不变。通过这种方式，用户能够创建图样化的光致抗蚀剂表面，从而准确地再现所提出的图样。A1100台机器有许多特点和优点。其中一个最重要的优点是它能够产生高度精细的具有极其精确特征的光掩模。此外，该工具能够自动对准元素，以便对基板进行精确的掩蔽和直接暴露。拥有快速、稳健的处理能力，资产适合大批量生产作业。所有这些特性使得LEYBOLD HERAEUS A 1100模型成为光刻的理想工艺。