二手 LEYBOLD HERAEUS ARES 1100 #9054497 待售
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ID: 9054497
Pump
Rotary / Roots / Diffusion
Meissner and Polycold
Mark II Ion source
Single e-gun with 8-hearth crucible
Quartz crystal monitoring
Segmented dome substrate carrier.
LEYBOLD HERAEUS ARES 1100是一种高精度的微加工设备,用于光刻加工等制造工艺。该设备提供高精度的蚀刻和沉积能力,以及准确的过度涂层工艺。ARES 1100系统采用光电控制单元,能够蚀刻和涂覆各种基板。它能够加工尺寸不超过4.7英寸、边长不超过20毫升的基板。该机器配有集成的自动化晶圆处理工具,还具有闭环光掩模评估资产。LEYBOLD HERAEUS ARES 1100使用公司独特的光学增强溷浊气相沉积(OMVD)工艺进行蚀刻和涂层材料。这是一种独特的蚀刻和沉积技术,能够在各种微型和精密加工应用中精确沉积专用薄膜。该型号配有先进的光学控制设备,以确保精确准确的蚀刻和涂层公差。该系统还带有多种其他功能,如定制的光掩模设计,可用于在基板上蚀刻精美的复杂图桉。它还提供了一种气流选项,可用于清洁基板,防止蚀刻和沉积过程中的污染。ARES 1100单元还能够在蚀刻和沉积过程中测量实时特性,从而实现更快的周转和高质量的机器性能。该工具的额定处理速度为每小时30个晶片,具有精确温度控制等功能。总之,LEYBOLD HERAEUS ARES 1100是一种先进的精密加工资产,用于光刻加工和其他蚀刻涂层应用。该模型提供了高度精确的过度涂层、沉积和蚀刻功能以及自动晶圆处理。该设备还能够测量蚀刻和沉积过程中的实时特性,从而实现更快的周转和高质量的结果。
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