二手 LEYBOLD HERAEUS ARES 1100 #9055005 待售

LEYBOLD HERAEUS ARES 1100是一种全自动和可编程的光阻自旋涂层设备，旨在协助生产精密的抗蚀剂元件。该系统采用ARES 1100涂层和制备概念,以确保尽可能高的涂层质量。LEYBOLD HERAEUS ARES 1100配备了基站吸尘器、主涂层室、预清洁室和后清洁室。其设计使光刻胶、聚酰亚胺、激光抗蚀剂和其他材料能够在晶片、基材和其他元件上进行精密涂层。ARES 1100机采用精密涂层和制备概念，具有自动工艺控制、时间控制沉积循环、集成工艺监控、集成计量监控、窄抗体系结构设计、先进抗转移技术等几个独特特点。该工具旨在提供可重复、高质量、厚膜的光刻胶、聚酰亚胺和激光抗性涂层，结果一致且可重现。此外，这一资产还为用户提供了几个额外的好处。LEYBOLD HERAEUS ARES 1100具有沉积材料厚薄膜和薄膜的能力,可以覆盖厚度为0.2um和厚度为100 nm的晶片。模型的主涂层室还可以容纳多种晶圆形状和大小，包括3"晶圆、4"晶圆、6"晶圆和8"晶圆。此外，综合工艺和计量监测提供了沉积过程中晶圆厚度和附着力的实时监测。与传统的自旋涂层方法相比，ARES 1100显着缩短了加工时间。它还允许用户精确控制晶圆的大小和形状，并能够快速准确地沉积精确的薄膜厚度。最后,由于这种自动化设备的功能,无需手动调整,因此非常适合在大批量生产环境中使用。