二手 LEYBOLD HERAEUS ARES 1350 #9228483 待售

LEYBOLD HERAEUS ARES 1350是一款设计用于微电子生产的高端高精度光刻干蚀刻设备。该系统利用先进的光刻工艺的独特组合，包括先进的光刻技术，在晶片上以低至1微米的分辨率制造出难以置信的微小和复杂的图样。该装置具有多种特点，包括高功率激光照明，能够有效处理对紫外线敏感的抗蚀剂材料。该机器还可用于使用涂层基板直接写入图样。与其他光刻干蚀刻系统相比,ARES 1350还提供了业界领先的性能,从而获得了更好的结果和最高的产量。由于其先进的动态对准工具，使对准精度最大化到微米级，它在提供精确蚀刻工艺方面非常可靠。LEYBOLD HERAEUS ARES 1350资产由加工室和激光室两部分组成。激光室配有高性能激光源、聚焦输出光束，以及能够实现高效直接写入模式的先进功能。此外，该模型还配备了强大的电子束精细分辨率控制设备（FEB-FERES），以实现更高的精度、更好的控制和更好的工艺稳定性。此外，ARES 1350系统还能够进行可调节的压力控制和温度控制，从而对光刻蚀刻工艺提供更大的灵活性和更好的控制。该单元还设计了高性能的空气滤清机，保证了更好的作业性能和洁净室操作。LEYBOLD HERAEUS ARES 1350具有优异的性能,为微电子生产提供了最高的产量。凭借其高精度、强大的控制和高性能激光照明,ARES 1350提供了可靠的光刻蚀刻工艺,从而确保了更短的生产时间、更高的产量和成本节约。