二手 LEYBOLD HERAEUS Syrus 1105 #293819408 待售
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ID: 293819408
优质的: 2000
Vacuum coating machine
Ignition counter: 31.220 hours
INFICON XTC/2 Deposition controller
LEYBOLD Pocket EB Gun, sweep controller
(3) Bottom heaters
Diffusion pump, water cooled baffle
POLYCOLD PFC 661 Chiller
(2) Sector plates sets
Step up transformer
Step down transformer
SIEMENS PC/PLC controller
Manuals
Rotary pump, blower
2000 vintage.
LEYBOLD HERAEUS SYRUS 1105是为半导体晶片和光学器件等小型元件的微型化而设计的数字光刻设备。该系统具有先进的控制界面，能够精确控制曝光参数，从而产生最精细的高分辨率模式。该单元包括一个机动化晶片级，可支撑高达8英寸的晶片，灵敏度高达8级。该级安装在XYZ平台上,可以配置为旋转涂层晶片,以便将光刻胶暴露于所需的图样中。板载触摸屏允许精确输入参数,并可以调整X、Y和Z轴设置、曝光时间、能量设置和UV能量设置。SYRUS 1105采用了先进的成像机器，以确保精确的曝光时间和图样精度。该工具的特点是集成CCD摄像头，分辨率高达5百万像素，可用于晶圆的精确定位和图桉化区域的成像。照相机安装在一个自动的theta轴上，允许成像资产相对于旋转晶片精确的角度对准。该模型还包括一个可选的激光对准设备，以确保在涂层晶片上精确的模式对准。该系统高度自动化，控制晶片级、曝光时间、能量设置和紫外线能量设置。内置真空单元在曝光过程中牢固地将晶片固定到位，确保晶片和光刻胶之间的压力接触一致。最后，机器配备了安全工具，以保护人员和设备。此资产旨在在检测到突发紧急情况时关闭暴露过程。总体而言,LEYBOLD HERAEUS SYRUS 1105是一种先进的数字光刻胶模型,专为小型元件的精密微图化而设计。该设备可精确控制曝光参数和自动晶片移动，从而能够产生最精细的高分辨率图样。此外，还建立了保护人员和设备的安全系统。
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