二手 LEYBOLD HERAEUS SYRUS-C 1350 #9228481 待售

LEYBOLD HERAEUS SYRUS-C 1350是一种光刻工艺设备，用于光刻领域。该系统旨在提供光阻性能，以保护半导体和晶圆基板上产生的电路模式。它能够处理多达13英寸的单步涂层晶片，以及8英寸的4eme和12英寸的6eme晶片阵列。该单元用于在基板上创建光敏层，用于光刻或蚀刻工艺。LEYBOLD HERAEUS SYRUS C1350采用多级涂层技术,允许晶圆与基板的比例控制,以获得最佳的工艺结果。该工艺包括在基板表面上涂抹一层光刻胶，将光刻胶层烘烤至预定温度，再涂抹更多层光刻胶。这台机器还允许处理单步涂层和均匀覆盖的四联涂层。使用CAD工具将光刻石线打印到基板上,并使用半自动激光干涉仪来确定要蚀刻的图样的高度。然后将激光束聚焦到晶片上以显示所需的图样。曝光后，晶片再经过显影剂处理，去除了光刻胶未曝光的部分。SYRUS-C 1350提供了最先进的功能,包括每次曝光的可调剂量控制、局部模式特定曝光以及过程自动化功能。它还能够进行低至0.2微米的高分辨率成像。该资产为用户提供了使用手动、半自动或全自动流程的选项，允许根据应用程序进行不同数量的控制和定制。其他优点包括柔性针设计，确保基板的均匀覆盖和精确的光刻图样。SYRUS C1350提供高质量和可靠的抗蚀剂处理,使用户能够高精度地制造复杂的结构。它是制造高分辨率电子电路和元件的宝贵工具。该模型提供了广泛的特性和功能,可用于制造各种应用程序的产品。