二手 LEYBOLD HERAEUS TCO #9259572 待售

LEYBOLD HERAEUS TCO是一种光刻系统，旨在优化半导体生产中的光刻工艺。光致抗蚀剂是一种聚合物材料，当暴露在光下时，会发生化学变化，并按照将光刻技术转移到半导体表面上所需的模式进行蚀刻。TCO同时包含正负色调开发者、开发者添加剂Ti-SAA和开发者稳定器,以确保最佳工艺性能。Positive Tone开发人员（称为LEYBOLD HERAEUS TCO-PT）提供高分辨率和清晰的阵列效果,同时还提供一致的整体蚀刻性能和强大的工艺纬度。它有高粘度和低粘度两种配方，以满足特定的客户要求。此外，它的快速稳定作用防止了溶解材料的堆积，并确保了最佳性能。Negative Tone开发者，称为TCO-NT，被设计成开发速度比Positive Tone开发者更快。这使得它更适合于高通量的过程，也能够产生高分辨率的光刻。此外，Ti-SAA添加剂还能改善侧壁，减少拐角舍入。它还可以减少晶圆表面的底切量，从而导致更清洁的图样和更大的产量。最后，显影剂稳定剂降低了由于自旋速度而造成聚合物破坏的机会，并有助于保持一致的抗剥离速率。这些特点，加上LEYBOLD HERAEUS TCO的其他特殊优势，例如其出色的保质期和易于处理，使其成为现代光刻光刻工艺在半导体生产中的理想选择。它能够快速可靠地产生高质量的输出,这使TCO成为同类产品中最受欢迎的系统之一。