二手 LEYBOLD OPTICS GMBH CCS Pro #9329086 待售

LEYBOLD OPTICS GMBH CCS Pro是一种用于处理高分辨率应用的光刻设备。它是为制造微机电系统（MEMS）和纳米机电系统（NEMS）等微器件而研制的。CCS Pro系统提供了一种先进的光刻技术,可以制造高分辨率的高精度薄膜。该单元利用紫外线（UV，Holmium： Yttrium Aluminum Garnet）激光辐射，在抗蚀剂上暴露出高度聚焦的图像，以便创造出只有几纳米大小的结构。LEYBOLD OPTICS GMBH CCS Pro单元配备了自对准级和石英红色激光器，以非接触方式进行曝光，确保抵抗膜不会失稳。CCS Pro机具有多种控制功能，可通过用户友好界面轻松调整。其中包括剂量控制和剂量率测量、阶段的平面内运动和模式对准能力。机器还配备了一个可调长度的磁场停止装置，允许将曝光限制在指定的宽度，从而进一步提高处理过的图样的分辨率。LEYBOLD OPTICS GMBH CCS Pro还能够对激光进行可变重复曝光和自动聚焦，以帮助确保精确和可重复的结果。该单位内置安全措施，保护操作员免受激光潜在危害。它具有控制总辐射率的能力，并配有一个防反射排气工具，该工具可以消散过程中产生的所有热量，以保持抗蚀剂的温度和保持装置的工作环境。此外，该资产还连接到激光控制模型，以监测和调节激光强度。为了确保清洁和统一的结果,CCS Pro设备具有内置的晶圆清洗站和旋转涂层站,从而可以轻松高效地准备设备的表面。此外,还可以对机器进行进一步修改,以便与干蚀刻系统结合使用。总体而言,LEYBOLD OPTICS GMBH CCS Pro为制造高分辨率微和纳米设备提供了全面的解决方桉。它具有很大的灵活性以适应不同的目标要求,并具有有效的安全措施来保护用户。