二手 LEYBOLD OPTICS MCS 480 #9394822 待售

LEYBOLD OPTICS MCS 480是一种光刻胶设备，设计用于光刻胶快速暴露于紫外线辐射下。该系统由灯源模块和光阻处理模块两大组件组成。灯源模块由四个300瓦汞蒸气短弧灯组成，每个灯都有各自的光学滤光片，以确保紫外线的适当强度和波长。这些灯被封装在水冷石英反射器中，该反射器具有可调腔室，其设计有助于减少光刻材料的加热和冷却时间。外壳也可以编程成在角度之间旋转，以提供均匀暴露于基板上的光刻胶。光致抗蚀剂处理模块由一个腔室组成，该腔室的设计目的是提供一个统一的大气，以便在曝光期间精确控制环境。该腔室包含一个用于控制温度和湿度的鼓风机单元，并与来自灯源模块的四盏灯相连。腔室还设有可调百叶窗，用于控制到达基板的紫外线量。MCS 480能够以高达400nm/秒的曝光率处理直径不超过25英寸、厚度不超过0.5英寸的基板。它具有PLC界面，允许用户精确控制紫外线的强度和波长以及曝光和冷却过程的时间。它还有一个集成的过程控制器,可存储多达200个单独的曝光配方,以便快速轻松地进行设置。LEYBOLD OPTICS MCS 480是一款经济高效、高性能的光刻机,为用户提供当今精密光刻工艺所需的快速、可重复和精确的曝光。该工具非常适合用于生产半导体晶圆、光电器件和印刷电路板的掩模制作、直接写入光刻和直接成像等应用。