二手 LEYBOLD OPTICS MCS #293615755 待售

LEYBOLD OPTICS MCS（Microfabrication Control Equipment）是为生产高精度MEMS（微机电系统）和其他微加工工艺而设计的综合光刻系统。MCS是一个闭环单元，通过实时监控和反馈提供自动化的过程控制，因此使用户能够确保可重复、优化的性能。LEYBOLD OPTICS MCS由三个主要组件组成：一个光刻装置、一个自旋涂层和一个IMB（集成测量板）。光致抗蚀剂单元用于涂覆具有光致抗蚀剂、控制温度、试剂浓度和干燥时间的样品。自旋涂层负责在样品上涂上均匀的光致抗蚀剂涂层。最后，采用集成测量板分析和控制应用光刻胶层的高度、宽度和厚度。MCS机的主要优点是能自动完成光刻过程，精度近乎完美。这提供了成本效益，同时使用户能够不费吹灰之力地制作高精度的微工件。此外，LEYBOLD OPTICS MCS工具还允许增加各种子系统，以进一步提高性能。这些子系统包括激光微处理、激光退火和激光烧蚀等附加应用。总体而言，管理控制系统允许采用完整的自动微加工工艺，这大大降低了生产成本，同时在制造微加工时实现了近乎完美的精确度。可自定义资产还使用户能够选择最适合其特定流程的系统和子系统,从而确保最佳性能。