二手 LEYBOLD OPTICS MCS #9386355 待售

LEYBOLD OPTICS MCS是LEYBOLD OPTICS开发的一种综合性光刻设备，用于广泛的微电子和纳米级光刻制造工艺。该系统包括一个最小分辨率为0.5µm的高分辨率掩模对准器和一个由专有材料组成的掩模单元,其设计目的是在掩模制造过程中最大程度地减少失真。MCS是复杂高密度光敏结构制造的一种经济高效的解决方桉。该机器采用专有的高频紫外线光源，能够产生波长λ=350-450 nm的辐射，以及具有高精度薄玻璃基板的反射板，能够进行纳米级成像。LEYBOLD OPTICS MCS工具配备了先进的软件控制资产，允许广泛的定制，例如图像的曝光剂量、形状、大小和时间。此外，作为模型的关键组成部分，MCS微MSC光刻设备提供了对光刻工艺的全精度控制。利用高帧速率电子束，这一工艺可以达到0.1µm的高分辨率，非常适合生产精密度最高的结构。此外，该系统还配备了一个高亲和力湿处理单元，这使得光刻工艺能够在没有细线和边缘定义问题的情况下完成。此外,LEYBOLD OPTICS MCS还利用先进的热处理能力来改善缺陷和污染控制。该机设计为提供一致的高质量热处理，功耗低，因此单价相对较低。此外，MCS微MSC光刻工具还配备了先进的真空室，能够进行高精度的低温真空处理。在低真空环境下，抗蚀剂的材料性能发生了巨大变化，使其能够显着改善和一致的效果。综上所述，LEYBOLD OPTICS MCS是一种提供高分辨率、低缺陷率和卓越精度的综合光刻资产。利用高频UV光源、高分辨率微掩模对准器和精确热处理等先进工具，该模型能够选择性地以极高的精度制造极小尺寸的元件。该设备的设计目的是使以后几代集成电路的生产具有更高的精确度。