二手 LEYBOLD OPTICS Syrus TC III #9394826 待售

LEYBOLD OPTICS Syrus TC III是用于先进集成电路生产的最先进的光刻设备。该系统的工作原理是将遮罩光学投射到晶片上，以产生一层薄薄的光刻胶。然后在诸如蚀刻等化学加工过程中使用该层保护晶片表面。Syrus TC III高度精确，允许分辨率低至0.25 µm。它具有一个可变的NA 0.5-0.7可变基板，以及一个154毫米的图像圈，用于投影更大的蒙版。该单元配备了633 nm激光进行快速曝光，以及双色镜以消除投影像差。270 nm垂直照明可看到高达3.8 mWatts/cm2的照明强度。整个机器的核心设计具有灵活性和自动化。例如,该工具与各种各样的晶圆形状和厚度兼容,例如圆形、矩形甚至正方形。它还具有高级流程控制资产,它允许自动化配方,以实现多层的最大可重复性和流程一致性。它还具有多区域重迭曝光功能,可减少蒙版加载时间和成本。LEYBOLD OPTICS Syrus TC III是最先进的光刻胶系统之一。它提高了生产速度和精度，同时改善了废物管理和成本效益。这使得它成为大容量处理感光材料的理想选择。