二手 LEYBOLD Syrus 1510C #9395373 待售
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ID: 9395373
优质的: 2007
AR Coating system
WAU 2001 H Rotary pump
SV630 Booster pump
POLYCOLD PFC-1102HC Chiller
Hydronium box: LEYBOLD TP 250
(2) EB-Guns with 8-pockets crucible
Ion source: APS Source with TP250 Controller
Crystal system: Q242 Board with 6-crystal head auto-change
POLYCOLD Cooling capacity: 860 W
POLYCOLD Cooling temperature: -130°C
Short circuit: 100 kA
Rated power: 110 kVA
Temperature: 35°C
HV Power supply: Output 10 kV
E-Beam gun: HPE12/10
Air relative humidity: Maximum 65%
Heating voltage: 400 VAC
Evaporator boat:
Tungsten
Tantalum
Niobium
Control system:
IPC Controller: BECKHOFF C5102-0010
HMI: BECKHOFF CP6902-0001-0000
Independent IDE display card
Non-functional UPS
Power supply: (3) 400 VAC±10%, 3-Phase, 50 Hz
2007 vintage.
LEYBOLD Syrus 1510C是用于光刻应用的光刻设备。该系统包括一个阻挡轨道、一个后开发单元和一个开发者。它为光敏处理提供了一个可重复、可靠的平台。Syrus 1510C具有简单且用户友好的设计,使其能够快速设置和操作。该单元具有双轨设计,允许同时执行两个不同的处理作业。此外，该机器有一个微处理器，可以编程，以帮助食谱的重复性和尽量减少用户之间的设置时间。LEYBOLD Syrus 1510C的主要组成部分是抵抗轨道和后开发单元。抗蚀剂轨迹包含穿孔的内壁和外壁,它们通过刀具创建一致的层流。这在曝光过程中造成了光刻胶材料的均匀扩散。后开发单元包含一个光源，用于在晶片上创建光刻膜。Syrus 1510C还包括一个显影剂，用于去除暴露的光致抗蚀剂材料。这样就可以使用所需的模式来处理基板。显影剂的设计是有效和一致的去除光敏层，同时保留定义的基板地形。LEYBOLD Syrus 1510C是一种高度通用和可靠的光刻资产。它具有简单、用户友好的设计与双轨设计和自动化控制相结合，使用户能够快速高效地处理光刻胶层。此外,它还提供了极好的可重复性,可最大程度地减少作业之间的设置时间。该模型非常适合提供处理半导体器件所需的质量和均匀的光刻胶现成基板。
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