二手 LOTUS SYSTEMS CVS/CDS #293589874 待售

LOTUS SYSTEMS CVS/CDS是一种光刻设备,为电路制造提供经济高效、可靠且灵活的解决方桉。具体来说，它是一种由易于加工且具有高分辨率和稳定性的材料组成的抗蚀性涂层系统。该装置结合化学和涂层技术，提供良好的工艺重复性。光刻机的主要部件是LOTUS抗蚀涂层工具（RCS）、LOTUS涂层分配器资产（CDS）、LOTUS光掩模对准模型（PAS）。RCS负责在铜或其他基板上提供均匀可靠的涂层。它有两个主要部分：铸造头，以一致的速率输送光敏材料，并对其精确度进行监测；和两个跟踪臂，它们在基板表面移动并保持均匀的涂层厚度。CDS负责提供精确和可重复的光敏材料。它配备了一个自动分配器，监控进料速率、材料温度和储层水位。这样可以确保在基材上使用的材料数量一致。最后,PAS与CDS和RCS配合工作,通过对齐基板上的光掩模,使基板上的光刻胶图桉与光掩模的图桉对齐。这种对准是通过精确放置和表面读取光掩模来实现的。LOTUS SYSTEMS CVS/CDS中使用的光敏材料通常是聚合物材料，如聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）和聚乙氧基乙酰乙酸乙酯（PEVA）。通常选择这些聚合物是因为它们具有稳定的电性能和易于根据客户需求进行修改的能力。光刻胶还具有很高的光敏度，这意味着它可以很容易地暴露在受控的紫外线光源下进行图样化。LOTUS SYSTEMS CVS/CDS为电路制造提供了一种易于编程和用户友好的方式。它是一种稳定、一致的防腐涂层设备,可提供快速的生产速度、高分辨率和出色的光掩模对准精度。该系统也具有成本效益，需要最少的操作员培训和维护。