二手 LUNG PIEN LP-1500 EBA #293642696 待售
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ID: 293642696
Vacuum coater
Diameter size: 1500 mm
Fixture size: 1400 mm
Ultimate vacuum: 10^-7 Torr / 10^-5 Pa
Maximum substrate temperature: 350°C
Cooling water flow: 150 Liters/min
Air compressor: 3~5HP
Air pressure: 6-8 Kg/cm²
Grounding resistance: <5 Ohms
Exhaust system:
Rotary pump: 5,000 Liters/min
Strengthen pump: 1,500 M³/hour
Diffusion pump: 45,000 Liters/sec
Ultra low temperature freezers: -110°C ~ -140°C
Heating system:
Micro heater: 36 kW
Film thickness gauge:
Optical film thickness meter: LP Film thickness meter wide wave region
Quartz film thickness meter: Monolithic sensor head / six sensing head
Vacuum gauge:
Pirani+Cold cathode (1ATM~ 10^-9 Torr / 1ATM~ 10^-7 Pa)
Evaporation source:
JEOL / PLASMATECH Electron gun, 6 kW / 10 kW / 15 kW
Resistance heating: 6 kW
Cooling tower:
Pressure: 4 Kg/cm²
Pressure: 2 Kg/cm²
Power supply: 80 kW.
LUNG PIEN LP-1500 EBA光敏设备的设计符合微电子行业先进包装工艺的要求。该系统是一个完全可编程的自动化制造解决方桉,使用专有技术开发、加工和生产最精确的表面处理所需的最高质量的光刻胶层。其独特的设计允许精确的层厚度调整，改进的附着力，和精确的固化控制。LP-1500 EBA可以在几乎任何环境中进行精确测量,从而使用户能够实现精确的表面处理。它完全配备了一个自动化单元，用于精确控制每一层的具体参数。这包括层厚度、附着力和固化控制。LUNG PIEN LP-1500 EBA还结合了先进的应用技术,用于光阻层的统一应用.这使用户能够快速准确地调整层厚度和形状,从而产生无缺陷的重塑产品。它还包括强大的数字成像系统，提供无与伦比的洞察层的精确表面处理参数。LP-1500 EBA具有强大的全频谱监控和诊断功能,即使在不同的生产环境中也能确保最佳性能。它可以实时检测各层厚度和均匀性的任何变化，方便即时纠正误差。集成光学元件即使在有湍流的情况下也能运行，在过程开发过程中提供了完全的灵活性和灵活性。LUNG PIEN LP-1500 EBA可用于多种操作,允许用户在生产过程中进行更改,防止成本高昂的浪费,并确保成品的最高质量。LP-1500 EBA是一种高度可靠且用户友好的机器,能够满足最高的精度和准确性标准。它结合了先进的技术、高精度的元件和可靠的设计,使其成为高级包装过程的理想解决方桉。
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