二手 LUNG PIEN LP-1800 EBA #293642698 待售
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ID: 293642698
Vacuum coater
Diameter size: 1800 mm
Fixture size: 1600 mm
Ultimate vacuum: 10^-7 Torr / 10^-5 Pa
Maximum substrate temperature: 350°C
Cooling water flow: 180 Liters/min
Grounding resistance: <5 Ohms
Air compressor:
Pneumatic: 8 Kg/cm²
Exhaust system:
Rotary pump: 6,000 Liters /min
Strengthen pump: 2,600 M³/hour
(2) Diffusion pumps: 45,000 Liters/sec
Ultra low temperature freezers: -110°C~ -140°C
Heating system:
Micro heater: 42 kW
Film thickness gauge:
Optical film thickness meter: LP Film thickness meter wide
Quartz film thickness meter: Monolithic sensor head / six sensing head
Vacuum gauge:
Pirani+Cold cathode (1ATM~ 10^-9 Torr / 1ATM~ 10^-7 Pa)
Evaporation source:
JEOL / PLASMATECH Electron gun, 6 kW / 10 kW / 15 kW
Resistance heating: 6 kW
Cooling system:
Pressure: 4 Kg/cm²
Pressure: 2 Kg/cm²
Power supply: 110 kW.
LUNG PIEN LP-1800 EBA是为高质量和生产效率而制造的先进光刻设备.它是一个独立的单元，由一个可疏散的光阻处理器、排便监控器以及传感器和数据采集电子设备组成。LP-1800处理器提供一致的处理参数,同时提供高精度的过程控制。排便监控系统配有大型高清彩色液晶显示屏，允许对缺陷进行实时观察，便于串联故障检测分析。该装置采用先进的抗蚀剂剥离技术，用于预干工艺，使其适合各种光刻材料。前馈控制机、高工艺速度设置、激光高度和薄膜厚度监控等先进功能进一步确保了最高质量和精度。LP-1800 EBA还提供全面的仪器,包括温度、力、压力、真空和粒子监测,提供准确可靠的数据。此外,LUNG PIEN LP-1800 EBA还具有统一批量处理的集成反馈控制和即时问题解决的自动测试停止功能。该工具还具有自动化的高度集成功能,允许用户轻松地对自己的抵抗进程进行编程,以及用户友好的触摸屏控件,以便于对不同的进程步骤进行编程和优化。LP-1800 EBA非常适合支持光刻激光烧蚀和光刻等先进工艺技术。它的性能和先进的特性使其成为希望确保过程一致的制造设施以及高质量和高产生产的绝佳选择。
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