二手 M-SETEK VIC 8000 / VID 8000 #293632731 待售
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ID: 293632731
晶圆大小: 8"
优质的: 2001
Coater, 8"
(2) Hot plates
(2) Cold plates
Cup
Pre-align type: chuck type
2001 vintage.
M-SETEK VIC 8000/VID 8000是一种先进的光刻设备,用于快速准确地从薄膜基板传输电子元件。使用高强度紫外线,VIC 8000/VID 8000系统允许生产范围广泛的电子元件,从复杂的多层半导体封装到薄膜晶体管等复杂的细间距部件。M-SETEK VIC 8000/VID 8000具有名为I-Setek的专利技术,利用多层高纯度石英玻璃来控制抗蚀剂膜的曝光和曝光时产生的热量。采用I-Setek技术,即使在导电层和绝缘层的图案化过程中,也能确保整个抗蚀膜的均匀曝光。此外,该单元还可以传输多达200万条线路,其特征尺寸小至10微米。VIC 8000/VID 8000光刻机除能够快速、准确地制造精细螺距元件外,还具有许多其他高级功能。这些特点包括能够补偿基板特性的变化和抗性膜;能够在交互图样过程中准确监测抗蚀膜的蚀刻速率和光学反射率;以及精确控制光敏工具灵敏度和色调的能力。此外,M-SETEK VIC 8000/VID 8000光抗蚀剂资产的设计可与几乎任何类型的基板、抗蚀膜和设计模式配合使用,从而最大限度地提高生产灵活性。总体而言,VIC 8000/VID 8000光刻胶型号在生产速度和准确性以及灵活性和成本效益方面具有显着优势。因此,M-SETEK VIC 8000/VID 8000光刻设备是任何希望快速、准确、经济实惠地生产大量高精度和复杂元件的公司的理想选择。
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