二手 M-TECH 4300S #293664059 待售

M-TECH 4300S是一种高端光刻设备，特别适用于晶圆尺寸的基板。该系统具有多种特点，能够满足现代晶圆制造工艺的苛刻需求。该单元包括一个电阻应用模块、一个平面化模块、一个曝光模块、一个曝光后模块、一个开发模块和一个衍生模块。所有这些模块都集成在一起，形成一个完整的机器。4300S的抗蚀剂应用模块用于晶片尺寸基板上的光致抗蚀剂.抗蚀剂被分配到基板上，并用强大的旋转马达均匀分布。这确保了抗蚀剂在表面上的均匀覆盖。通过高精度喷嘴腔分离来保持基板与分配喷嘴之间的阻力控制流动。平面化模块包含一个精确控制的平面化曲面。此曲面用于精确、精确地平滑由抗蚀剂应用模块创建的基板的不均匀曲面。光滑的表面对于光刻过程中的接触光刻和定义特征至关重要。该工具的曝光模块利用先进的光学器件来确保精确和均匀的曝光。当将图像传输到基板上时，光学器件提供了极好的均匀性和较高的对比度。光学器件配备了自动对焦和图像识别功能，以确保高精度的精确曝光。资产的后曝光模块确保了蚀刻基板的统一、准确和完整的蚀刻。这是通过利用先进的曝光后校正算法来实现的，该算法精确控制了掩模的对准、曝光剂量和蚀刻。开发模块用于从基板上去除暴露的光刻胶。这是使用高级图像识别算法以高度精度的自动化方式进行的。分拆模块用于从基板上冲洗掉剩余的光致抗蚀剂。这是通过高速旋转晶片，并确保最大限度地利用冲洗化学和完全冲洗掉的光致抗蚀剂。总体而言，M-TECH 4300S是一种先进的光刻胶模型，它使用户能够在晶圆尺寸的基板上准确可靠地进行光刻工艺。该设备具有多个模块，可确保均匀的抗蚀性应用、精确的曝光、均匀的蚀刻以及光刻胶的完全冲洗。这使4300S成为现代晶圆制造工艺的理想选择。