二手 MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-1408SE #9280828 待售
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MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-1408SE是一种光刻设备,用于曝光光刻或印刷电路板的基板。MP-1408SE包括提供紫外线照明的真空紫外线(VUV)灯源、用于固定金属或铬面罩的遮罩级、用于固定和移动基板的灯和遮罩之间的光路以及用于固定和移动基板的基板级。灯源产生线聚焦的VUV光束。系统中使用多个聚焦透镜引导光束通过高度调谐的光路。这样可以使光束向下聚焦到一个小点,从而在基板上提供高分辨率的图像。该单元还包括一个扩散准直仪,以确保整个基板的均匀性和一个屏蔽,以防止杂散排放。遮罩台是一种高精度、超稳定的机器,将金属或铬遮罩固定在基板上。该级由一个滚筒工具组成,用于对齐和稳定蒙版以进行曝光。它还包含两个精密级线性级,一个为水平级,一个为垂直级,以便使掩模精确聚焦在基板上。基板级设计用来容纳任何大小或形状的基板,长度可达25毫米。它具有七个位置的卡盘,可以在曝光过程中将基板牢固地固定到位。卡盘安装在旋转执行器上,以提供精确和可重复的基板定位。舞台上还安装了紫外线过滤器,以保护基板免受灯的辐射。MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-1408SE是一种高度可靠且用途广泛的光刻胶资产。它提供了一个快速和准确的曝光,同时允许精确和可重复的定位基板。其高精度的光学元件和坚固的舞台确保了卓越的图像质量和均匀性。它能够暴露出包括聚酰亚胺、二氧化硅、玻璃在内的多种基材。此外,它的可调功率灯控制允许微调光束的亮度,以获得最佳分辨率和曝光时间。
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