二手 MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-1408T LN #9243732 待售

MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-1408T LN是开发和处理高密度半导体器件的光刻设备。该系统设有光刻胶模块、喷雾模块、预处理模块和后处理模块，为软硬光刻胶工艺提供全面的解决方桉。光致抗蚀剂模块利用先进的光学工艺来曝光具有精确成型图样的半导体。这包括高速数字成像、掩模成像和检查功能,这些功能允许从多个基板逐层高效构建复杂的设计。可加工直径达300毫米的基板，并可进行最多五次掩蔽。使用全自动自动调平流程进一步提高了流程的准确性和速度。喷雾模组提供严密的过程控制和均匀的物料沉积。它包括一个自动调平旋转或喷涂单元，用于应用抗蚀剂材料，然后是一个专利多区干燥机。自旋法产生高清晰度的精确共形线，而喷雾技术则产生具有卓越均匀性的三维特征。预处理模块用于光致抗蚀剂沉积前的清洁和表面调节。它包含酸性和碱性化学工艺，用于清洁表面的污染物。作为额外的一层保护，清洁化学品没有连贯性，预处理溷合物多次重复使用，具有优越的图样质量和可重复性。处理后模块通过去除任何残留的光致抗蚀剂来完成该过程。它由一个水剥离工具组成，然后是热水冲洗和干燥过程。这一多步骤工艺确保从各种尺寸的基板上完全去除光致抗蚀剂。MP-1408T LN是开发下一代半导体器件的通用且经济高效的解决方桉。其自动化工艺提供了卓越的产品质量，能够处理软和硬光刻层。因此，该资产适用于广泛的电路设计。