二手 MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-18M08J-Se #9280579 待售
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MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-18M08J-Se是一款高性能的光阻设备,可为一系列光电应用提供卓越的工艺一致性和用户灵活性。该系统设计用于先进的生产过程,经过优化,能够精确曝光各种光刻胶层,包括PMMA、SU-8和I线光刻胶。MP-18M08J-Se具有两区传输级,可同时涂覆和曝光光刻胶层,从而最大限度地减少传输时间。MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-18M08J-Se采用RIE(反应性离子蚀刻)配置,有助于光刻胶的精确曝光。MP-18M08J-Se的真空处理室用法兰密封,法兰的设计是为了保证适当的大气室压力。腔室入口和出口端口确保在暴露过程中N2气体流动恒定,以帮助清除腔室中不希望的残留物,并保持受控制的光致抗蚀剂形成环境。该设备占地面积小,可有效利用实验室工作空间,并为精细样品提供用户舒适性和最大的工艺安全性。MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-18M08J-Se提供了可靠的真空源,并配备了能够达到5-10 × 10-8 Torr基本压力的真空机。MP-18M08J-Se真空工具还通过防止污染和光敏层缺陷来确保产品质量。MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-18M08J-Se的分析能力通过其4英寸双壁室得到增强。此功能可有效遮挡外部光线,并可精确控制整个曝光过程。这使得可靠的层具有极好的均匀性,即使在具有挑战性的环境条件下,具有不同的光致抗蚀剂敏感性。MP-18M08J-Se的通用性和性能使其成为膜开关生产、微型电子和LED制造等光电应用的理想选择。资产的紧凑设计也使得它成为研究实验室、晶圆厂实验室或小规模生产设施中的一个吸引人的选择。MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-18M08J-Se旨在预测一系列生产标准的需求,从而使其成为任何光刻技术的理想选择。
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