二手 MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-5M8K-NPS #293664056 待售

MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-5M8K-NPS光刻设备是为先进的硅光刻应用而设计的最先进的解决方桉。该系统利用深紫外线（DUV）光源在清洁室环境中对具有高度精确特征的晶片进行制图。它将高功率激光器与光学、机械方桉和电子设备相结合,提供最大分辨率、吞吐量和可靠性。MP-5M8K-NPS单元采用最小像差变形投影机设计，可大大减小曝光面积并确保精确放置精度。它具有0.11微米的减小比5倍的分辨率能力，可以精确描绘特征。该工具采用高峰值功率激光二极管技术进行了改进，以实现最佳的吞吐量，具有卓越的可重复性和长期性能。此外，该资产还配备了一个用于同时多脉冲控制的创新控制器，该控制器可以部署多个狭缝（盒）曝光，使其成为各种应用中光刻的理想选择。MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-5M8K-NPS模型附有一个冷却单元，用于冷却光学元件和激光二极管，并带有高精度、多轴级，以确保精确对准。创新的晶圆盒式设备提供了短曝光时间，同时提高了可重复性。内置的泄漏探测器和压力监测器进一步确保了对可靠投影光刻所需真空环境的精确控制。除了其出色的图像质量外，MP-5M8K-NPS系统还被设计为最大限度地减少粒子的形成。它配备了第一类主动粒子计数器，提供实时反馈，以优化背景污染水平。该装置还设有惰性气体供应机，能够将不同气体引入室内，以控制污染水平。MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-5M8K-NPS光刻工具的设计目的是为半导体行业的OEM提供可靠、高性能的解决方桉来满足其光刻需求。其出色的性能、广泛的特性和高度精确的图案设计功能使其成为任何光刻应用的理想选择。